基于MEMS技术 — 压力计/控制器
市场上各个设备制造商都在努力寻求紧凑的小型检测、监控气体流量或者压力的精密仪表。先前，传统的质量流量和压力计和控制器都需要至少1.5″尺寸，比如具体在NeSSITM 系统中。通过运用MEMS技术，Bronkhorst可以提供一系列尺寸只有0.75″的产品，从而使超紧凑流量和压力控制器成为可能。
- 最小范围 0.01…0.5 bar
- 最大范围 0.2…10 bar
特点：
- 零点稳定性强
- 紧凑的组装提高空间利用率
- 经济实惠，节省成本
- 快速响应
- 模拟或者数字(RS232 / RS485)通讯
以IQ+FLOW® 系列产品的MEMS技术为基础，Bronkhorst可以给客户设计集成多通道与多功能于一体的微流量系统。
分析行业的应用
尺寸为0.75″ 的超紧凑模块在分析行业的应用举例：
- 气相色谱仪注入端的流量-压力控制
- 气相色谱仪或高效液相色谱仪检测端的流量控制
- 火焰离子探测仪的流量控制